台大建置先進半導體製程研究場域 助攻新科研、產學及國際合作發展

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台大在國科會「半導體學院重點設備建置專案計畫」（晶創台灣方案）支持下，於校內建置先進半導體製程研究場域，提供從元件製作、製程開發到分析驗證的一站式服務，且開放他校研究人員與師生共享。（記者楊綿傑攝）

團體戰全力衝刺半導體前瞻研究！台大在國科會「半導體學院重點設備建置專案計畫」（晶創台灣方案）支持下，於校內建置先進半導體製程研究場域，提供從元件製作、製程開發到分析驗證的一站式服務，且開放他校研究人員與師生共享，以促進產學合作並增強國際研究鏈結，打造兼具前瞻研究及國際高階人才培育功能的開放式半導體研發生態系。

計畫辦公室召集人、暨南大學校長武東星指出，過往全國各大學校院要做相關研究，常面臨硬體設備跟不上的問題，國科會在過去3年投入3億元經費，陸續在北中南7所半導體學院建置60台半導體製程重要設備，台大校方也共同挹注約1億元，建置其中11台設備，讓全台灣有興趣的大學師生、研究人員，可透過一站式網站申請使用設備，以促進半導體科技研究發展。

台大重點科技學院院長吳志毅指出，有晶創方案的支持，對學校半導體資源設備整合幫助很大，產生更好的群聚效應，且台大也藉此機會更新設備，達到具備足以與其他國外名校競爭的等級，並支援北區各校的先進研究。

台大重點科技研究學院特聘教授陳建甫說明，校方於卓越研究大樓內設置無塵室與量測設備，涵蓋解析度可達8奈米的電子束微影、原子層薄膜沉積與蝕刻、以及奈米材料與半導體元件量測等設備。以無塵室來說，近3年累積使用人次突破1.2萬，整體平台使用量也從113年度7.5%提升至115年度24.8%；另參與半導體製程與元件實作教學課程則約有180名學生，強化區域技術創新與人才培育能量。

在計畫研究成果的亮點部分，包含台大物理系特聘教授邱雅萍團隊的臨場剖面掃描顯微半導體檢測技術，能在半導體元件實際通電運作狀態下，以原子級空間解析度直接量測金屬與半導體接觸邊緣的電子傳輸行為，發表於Nature期刊。另外，台大重點科技研究學院教授李敏鴻團隊開發氧化鉿鋯奈米電容，整合能量儲存、廢熱發電與晶片主動冷卻，提供未來晶片新型能源與熱管理方案。

校方提到，相關計畫的產學成果亮點則已與台積電、力積電、鈺創、富采、瑞儀、群創及閎康等國內企業合作，金額達約8400萬元。主要研究議題包含先進半導體製程技術與設備開發、新世代記憶體與AI運算電子元件、矽光子與先進光電元件等。至於在國際合作方面，已與美國賓夕法尼亞大學共同成立半導體研究中心，推動跨國專題研究、人才共同培育等學術交流。

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