台積電外氣空調箱洗滌技術升級　再省電60%

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（中央社記者 張建中 新竹30日電）晶圓代工廠台積電成功升級外氣空調箱洗滌技術，台積電表示，新一代設計運用自然重力取代馬達加壓，在確保洗滌效果不變的同時，達到再省電60%的效益。

台積電在新出爐的ESG（環境、社會責任、公司治理）電子報中表示，經與供應商開發外氣空調箱洗滌技術，成功節電80%，為擴大節能成效，進一步升級外氣空調箱洗滌技術。

台積電指出，升級的外氣空調箱洗滌技術是透過改裝外氣空調箱灑水系統，並導入高潤水性濕膜板，運用水流自然落下的重力，取代原本的馬達動力加壓。在維持相同洗滌效果的同時，水泵由10馬力降至4馬力，達到再省電60%的效益。

台積電表示，至今年10月，升級的洗滌技術已於晶圓六廠與先進封測七廠完成運轉驗證，未來將推廣至各12吋晶圓廠區，精進綠色製造能力。

此外，台積電廠務團隊針對先進封測製程產出的含鐵蝕刻廢液，自主研發回用技術，利用鐵離子凝聚沉澱的特性，成功將廢液轉換為可回用於廠內廢水處理的氯化鐵替代藥劑。

台積電指出，至今年10月，這技術已導入先進封測三廠、先進封測五廠、先進封測六廠，累計減少廢液委外處理量920公噸，節省外購藥劑280公噸，並降低140公噸碳排放，創造每年新台幣1900萬元的綜合經濟效益。

台積電表示，為深化資源再生價值，已將這技術納入先進封測新建廠區的標準設計，隨著新廠陸續導入，預估至民國119年將累計減少廢液委外處理量6300公噸，節省外購藥劑1800公噸及減碳980公噸，年創1.3億元綜合效益。（編輯：張良知）1151030

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