韓晶圓廠力拚分散布局！專家卻示警「少了這一環」：將面臨良率風險

南韓考慮將下一代產業群分散到包括湖南地區在內的多個區域，但一家全球設備製造商闡述了相關先決條件。（示意圖，路透）

〔財經頻道／綜合報導〕為提升半導體產業競爭力，南韓考慮將下一代產業群分散到包括湖南地區在內的多個區域。但被業界稱為「第二個ASML」的Nearfield Instruments卻警告，晶圓廠僅僅獲得土地是不夠的，能不能搬的問題不只在土地、水電是否到位，如果南韓新晶片製造基地沒有一個涵蓋設備交付到良率管理等各個環節的完善支持體系，在缺乏完整的在地基礎設施與支援生態，先進製程最關鍵的良率恐面臨良率風險。

Nearfield Instruments共同創辦人暨執行長Sadeghian表示，隨著晶圓廠與既有大型聚落之間的地理距離拉大、布局變得更分散，設備供應商與晶片製造商之間要維持緊密技術支援、快速反應與高效率合作，將成為重要挑戰。

據悉，Nearfield總部位於荷蘭，專門開發以3D原子力顯微鏡（AFM）為基礎的非破壞性量測設備，應用於GAA等超微細製程，以及HBM等3D先進封裝。其QUADRA解決方案能進行超高精度垂直量測，補足傳統光學與電子束工具的不足，公司成長速度之快，甚至被業界稱為「第二個ASML」。

他強調，對全球設備商而言，新半導體聚落若要獲得順暢支援，關鍵條件包括健全的物流網路、在地技術人才與完善的數位連接能力，其原因在於，隨著先進製程日益複雜，設備商提供的即時支援對良率管理愈來愈重要。

目前Nearfield在南韓京畿道華城設立法人，當地集中了韓國最先進的半導體製程，公司並與三星電子等企業合作供應量測設備。包括細微側壁輪廓、混合鍵合表面等高價值製程，要維持良率，都需要設備商高階工程師支援與即時製程控制。

Sadeghian表示，韓國半導體生態系在HBM等高度堆疊、結構複雜的產品上，具有優化良率的優勢，而Nearfield位於華城的韓國據點，讓公司能直接參與這套先進製造生態並提供密切技術支援。這也意味著，如果客戶晶圓廠未來遠離既有基地，新地區同樣需要重新建立相近程度的支援網路。

據悉，Nearfield與南韓先進半導體產業具有深度連結，三星也被報導曾以集團層級投資Nearfield。Sadeghian表示，南韓在先進記憶體、AI晶片與3D整合技術上的領先地位，是Nearfield極為重要的市場。隨著AI基礎設施持續擴張，將繼續與南韓半導體價值鏈合作，以支援愈來愈複雜的晶片架構。

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